日本电子株式会社推出新型肖特基场发射扫描电子显微镜J
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2021-08-31 16:36

东京--(美国商业资讯)--日本电子株式会社(JEOL Ltd., TOKYO:6951)(总裁兼首席运营官:Izumi Oi)宣布已开发出半浸没式(semi-in-lens)版本(i)/(is),这两个版本非常适合观察肖特基场发射电子显微镜JSM-IT80020205月推出)半导体器件,已于20218月开始发售。

 

开发背景

 

扫描电子显微镜(SEM)被广泛用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等各种领域。SEM的应用范围正在不断扩大,不仅涵盖了研究和开发,而且还涉及制造现场的质量控制和产品检验。与此同时,SEM用户正需要快速的高质量数据采集,以及简单的成分信息确认和无缝分析操作。

 

为了满足这些需求, JSM-IT800集成了我们用于高分辨率成像的浸没式(In-lens)肖特基Plus场发射电子枪、创新型电子光学控制系统“Neo Engine”,以及无缝式GUI “SEM Center”系统,该系统采用完全嵌入式JEOL能量色散型X射线光谱仪(EDS)作为通用平台,以进行快速元素映射。此外,JSM-IT800可以作为模块替代SEM的物镜,并拥有不同版本以满足不同用户的需求。

 

根据物镜类型的不同,JSM-IT800分为五种版本:属于通用型FE-SEM的混合透镜版(HL);可进行更高分辨率观察和分析的超级混合透镜版(SHL/SHL,两个版本功能不同);新开发的适用于观察半导体器件的半浸没透镜版(i/is,两个版本功能不同)。

 

JSM-IT800还可以搭载新的闪烁体反向散射电子探测器(SBED)SBED能够以高响应性轻松观察实时图像,即使在低加速电压下也能产生清晰的材料对比度。

 

特性

 

1. 浸没式肖特基Plus场发射电子枪

 

电子枪与低像差聚光透镜的进一步整合带来更高的亮度。低加速电压下具有足够的探头电流(5kV时为100nA)。独特的浸没式肖特基Plus系统适用于各种应用,从高分辨率成像到快速元素映射,以及电子反向散射衍射(EBSD)分析。

 

2. Neo Engine(新型电子光学引擎)

 

Neo Engine是一种先进的电子光学系统,采用JEOL多年积累的核心技术。即使改变不同的观察或分析条件,用户也能进行稳定的观察。自动功能的高度可操作性大幅增强。

 

3. SEM Center/EDS集成

 

GUI “SEM Center”全面集成SEM成像和EDS分析功能,方便用户进行直观的无缝操作。JSM-IT800可以通过加入选配的软件插件来增强功能,例如能够协助新用户并为其提供学习途径的SMILENAVI,以及可以获得更高质量实时图像的LIVE-AI(实时图像视觉增强器-AI)过滤器。

 

4. 半浸没版本(i/is)

 

半浸没式可将电子束与物镜下方形成的强磁场透镜汇聚起来,实现超高分辨率。此外,该系统能够高效收集样本发射的低能量二次电子,并通过顶部的浸没式探测器(UID)检测电子。因此,它可以对倾斜样本和横截面样本进行半导体器件故障分析所需的高分辨率观察和分析。此外,其对于电压对比度观察功能也非常实用。

 

5. 顶部电子探测器(UED)

 

可以在物镜上方安装一个顶部电子探测器。该系统的优点是能够获得反向散射电子图像,并结合样本偏差采集二次电子图像。物镜内的UID过滤器可对样本发射的电子进行选择。UEDUIT支持在一次扫描中采集多种信息。

 

6. 新型反向散射电子探测器

 

闪烁体反向散射电子探测器(SBED ,选配)具有高响应性,适合在低加速电压下采集材料对比图像。

 

目标销量

 

1) JSM-IT800i版本:5/
2) JSM-IT800is
版本:40/