引入最先进的ArF浸没式光刻光源技术,以满足用户的进一步需求
日本栃木县小山市--(美国商业资讯)--半导体光刻光源制造商GIGAPHOTON株式会社(总部:栃木县小山市、董事长兼总经理:浦中克己)宣布,新型ArF干式光刻光源GT45A已于今年8月份上市。
在最先进的半导体制造工艺中,技术节点10/7nm(纳米)的微细工艺成为主流,今后通过引入EUV光源的面向7nm以下的微细化技术将备受瞩目。另一方面,随着IoT的普及,14-65nm等技术成熟节点的需求将增加,预计可通过新投资来扩大生产能力和升级现有工厂进行应对。因此,需要进一步改进干式曝光装置,同时必须保证曝光装置的高生产率和高运转率(Availability)。
GT45A通过应用生产现场已引入的下述ArF浸没式光刻光源技术,具备可以满足用户广泛需求的功能扩展性。
・主要模块的寿命比以往产品提高50%,实现光源的更高运转,可以提高装置运转率。
・最大输出功率达到90W,可以进一步提高生产率。
・支持4kHz~6kHz的重复频率,可以满足各种曝光机的要求,有助于提高曝光光学性能。
GIGAPHOTON董事长兼总经理浦中克己表示:“GT45A通过应用在开发ArF浸没式光刻光源时培育的技术,可以针对广泛的客户需求,提供基于最先进技术的最佳解决方案。今后,GIGAPHOTON将继续提供满足客户需求的最佳功能,为半导体制造行业做出更大的贡献。”
GIGAPHOTON公司简介
GIGAPHOTON公司成立于2000年,作为一家激光器的供应商,自成立以来一直为全球的半导体生产厂商提供有价值的解决方案。GIGAPHOTON时刻以客户为中心,从产品研发到生产、销售及维护,为用户提供业界最高水准的支持。
BODY JAZZ入驻SKP, 感恩一路有你
雷蛇公布2019年全年业绩
欧洲量子物理和人工智能领导者泰雷兹宣布20
沙特发展基金为塔吉克斯坦新公立学校举行落成
上饶信州中专开展春季校园食堂安全隐患自查
走进中国工笔画名家杨明玉的艺术魅力
KPMG and Microsoft Enter
芯和半导体在DesignCon2023大会上发布新品
技嘉科技(GIGABYTE)的人工智能实力在
企业品牌营销找中秘传媒 新闻宣传推广效果好
NetWitness推出12.3版更新,可为整个企业
Energy Vault和DG Fuels将初始储能
9/11 Day与Epik合作推出全球首个NFT
“全球印度人”继续在国际商业中扮演重要角色
滨城区学院附小2014级六(2)中队世界读书日活
河南中牟县数十万多件农耕老物件寻找有缘人
Celgene Submits Application
Optomec公布数字化制造愿景,助力客户迈向未来
索尔思光电在OFC 2019展示最新400G
位于阿布扎比的技术创新研究所安全系
2020新品巡展于青岛利群金鼎广场 盛大开启
淮安市少儿图书馆“结对子•种文化”活动走进
国际化高端人才培养工程在京启动
松下与Institute of Microchemical